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定制精密加工&检测隔振平台

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台面尺寸:定制的大理石台面形状及尺寸

• 系统高度:按要求定制

• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率:2.0 HZ 水平方向固有频率:1.5 HZ

• 高精密高度阀与水平控制器

• 用途:光学、半导体加工及测量平台

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定制精密加工&检测隔振平台

台面尺寸:定制的大理石台面形状及尺寸

• 系统高度:按要求定制

• 低固有频率膜式空气弹簧  垂直方向固有频率:2.0 HZ  水平方向固有频率:1.5 HZ

• 高精密高度阀与水平控制器

• 用途:光学、半导体加工及测量平台


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台面尺寸:定制的大理石台面形状及尺寸

• 系统高度:按要求定制

• 低固有频率膜式空气弹簧 垂直方向固有频率:2.0 HZ 水平方向固有频率:1.5 HZ

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